ATM-240L
ATM-240L 用于產(chǎn)生高濃度 PSL 小球氣溶膠進(jìn)行設(shè)計(jì)研發(fā)。 在半導(dǎo)體和航空航天行業(yè)中的高效過(guò)濾器的測(cè)試中，不能采 用常見(jiàn)的油性氣溶膠物質(zhì)（DEHS、PAO 等），即使很小的量也會(huì) 存在濾材中或者排出從而導(dǎo)致對(duì)產(chǎn)品造成損傷。
儀器應(yīng)用儀器規(guī)格參數(shù)
l 產(chǎn)生示蹤粒子
l 測(cè)試 HEPA 和 ULPA 過(guò)濾器效率
l 測(cè)試大型潔凈間 VDI2083、DIN EN ISO14644
l 產(chǎn)生 PSL 小球
